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经营范围
发明名称
METHODS AND APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OF MICROSTRUCTURES
摘要
申请公布号
EP2087536(A1)
申请公布日期
2009.08.12
申请号
EP20070824261
申请日期
2007.10.19
申请人
3T TECHNOLOGIES LIMITED
发明人
SPEAKMAN, STUART, PHILIP
分类号
H01L51/00;G03F7/42
主分类号
H01L51/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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