| 发明名称 | 一种气浮导轨系统 | ||
| 摘要 | 一种气浮导轨系统，属于精密仪器领域。本发明提供的气浮导轨系统包括压缩空气控制气路、真空控制气路以及气浮导轨，气浮导轨包括气浮区和真空腔；所述压缩空气控制气路包括第一恒压气囊，用于向所述气浮导轨的气浮区补充气体；所述真空控制气路包括第二恒压气囊，用于抽取所述气浮导轨的真空腔中的气体。该气浮导轨系统具有气膜振动小的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN101504513A | 申请公布日期 | 2009.08.12 |
| 申请号 | CN200910045871.4 | 申请日期 | 2009.01.23 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 | 发明人 | 李生强;齐芊枫;张锋 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;F16K31/02(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王 洁 |
| 主权项 | 1. 一种气浮导轨系统，包括压缩空气控制气路、真空控制气路以及气浮导轨，气浮导轨包括气浮区和真空腔；其特征在于，所述压缩空气控制气路包括第一恒压气囊，用于向所述气浮导轨的气浮区补充气体；所述真空控制气路包括第二恒压气囊，用于抽取所述气浮导轨的真空腔中的气体。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江张东路1525号 | ||