气体分析装置及气体分析方法

摘要

本发明以提供一种气体分析装置为目的，通过减少从传感器部输入到分析装置中的信号数并减少被传输到分析装置中的数据量，从而降低被输入到分析装置中的数据量，并通过在多个位置上设置传感器单元，从而能够实时地测定多个位置上的气体中的气体成分浓度。本发明的气体分析方法为，利用分波器(22)将激光分波成测量用激光和参照用激光，使该测量用激光从气体中透过并利用受光器(25)接受，再根据接受到的测量用激光的光强度和所述参照用激光的光强度确定被气体中的气体成分所吸收的吸收光谱，通过分析该吸收光谱而测定气体成分浓度的气体分析方法，在本方法中，将所述测量用激光从光衰减器(23)中通过并照射到气体中，通过对所述光衰减器进行控制从而使从气体中透过的测量用激光的光强度与所述参照用激光的光强度之间具有规定的关系。

主权项

1、一种气体分析方法，利用分波器把激光分波成测量用激光和参照用激光，使该测量用激光从气体中透过并用受光器接受，再根据接受到的测量用激光的光强度和所述参照用激光的光强度确定被气体中的气体成分所吸收的吸收光谱，通过分析该吸收光谱而测定气体成分浓度，所述气体分析方法的特征在于，将所述测量用激光通过光衰减器照射到气体中，并由所述光衰减器进行控制使实际从气体中透过的测量用激光的光强度与所述参照用激光的光强度之间具有规定的关系。