一种用于光刻机对准的标记以及使用该标记的对准方法

摘要

本发明公开了一种基于四周期相位光栅的用于投影扫描光刻机的对准标记及对准信号处理方法，该方法利用标记中粗光栅分支信号确定捕获范围和粗对准位置，利用标记中精细光栅分支的信号确定精对准位置，从而可以保证仅采用±1级衍射光信号，即可获得高精度的对准位置，提高了对准效率，简化了对准光学系统。

主权项

1、一种用于光刻机对准的标记，所述标记在一个方向上含有4个不同周期的光栅，其中包括两个大周期光栅分支和两个小周期光栅分支，其特征在于：利用两个大周期光栅分支获得较大捕获范围和粗对准位置，利用两个小周期光栅分支获得精细对准位置。