八字型斜栅控结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种八字型斜栅控结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有栅极引线层、碳纳米管以及八字型斜栅控结构；能够增强栅极结构的控制效率，提高碳纳米管阴极的电子发射效率和电子发射数量，有利于提高器件的图像质量；具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种八字型斜栅控结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[13]、阴极玻璃面板[1]和四周玻璃围框[18]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[14]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[16]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[17]以及消气剂附属元件[19]；其特征在于：在阴极玻璃面板上设置有八字型斜栅控结构，即八字型斜栅控结构的衬底材料为阴极玻璃面板；同时八字型斜栅控结构包括阴极玻璃面板、阻滞层、阴极引线层、提升一层、阴极覆盖层、提升二层、阴极导电层、间隔层、调控栅极层、栅极引线层、栅极覆盖层和碳纳米管部分，具体结构关系为：在阴极玻璃面板上印刷的绝缘浆料层形成阻滞层；阻滞层上面刻蚀后的金属层形成阴极引线层；阴极引线层上面印刷的银浆层形成提升一层；提升一层呈现圆柱体型形状，其下表面为平面，和阴极引线层紧密接触；提升一层侧面为垂直于阻滞层的竖直面，提升一层上表面为平面，但在中心位置存在一个向下凹陷的半球型形状，提升一层上表面的周围形成一个平面圆环型形状；在提升一层上顶部半球型形状的上面印刷银浆层形成提升二层；提升二层呈现一个尖顶圆锥状形状，坐落于提升一层中半球型形状的上面；提升一层的侧面上印刷的绝缘浆料层形成阴极覆盖层；阴极覆盖层要完全覆盖住提升一层的整个侧面；提升一层上顶面的圆环型形状的上面以及提升二层的表面上刻蚀后的金属层形成阴极导电层；阴极导电层仅仅存在于提升一层上顶面的圆环型形状的上面，以及整体提升二层的上表面上；阻滞层上面印刷的绝缘浆料层形成间隔层；间隔层下表面为平面，覆盖住阴极引线层以及空余的阻滞层部分；间隔层中存在斜面孔，暴露出阴极导电层、提升一层和提升二层；间隔层中斜面孔的内侧壁是一个斜坡面，与间隔层上表面交界处的截面为一个中空的圆型面，此处直径最小，从间隔层的上表面开始，逐渐向间隔层内部凹陷，直至到达间隔层的下表面位置为止；间隔层的上表面大部分为平面，但是在环绕斜面孔周围处其上表面也形成一个倾斜面，即从斜面孔的边缘处开始，其高度逐渐降低，形成一个与斜面孔内侧壁相呼应的倾斜面，直至到达间隔层平面部分位置为止；间隔层上表面斜坡面上的刻蚀后的金属层形成调控栅极层；调控栅极层大部分都位于间隔层上表面的斜坡面上，但其前端部分在沿着斜坡面平行的方向上向斜面孔延伸，呈现悬空状态；环绕在斜面孔周围的调控栅极层的截面呈现一种八字型形状；间隔层上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极引线层；栅极引线层和调控栅极层是相互连通的；栅极引线层上面的印刷的绝缘浆料层形成栅极覆盖层；栅极覆盖层要完全覆盖住栅极引线层以及位于斜坡面上的调控栅极层，但不能覆盖处于悬空状态的调控栅极层；碳纳米管制备在阴极导电层上面。