开盖装置

摘要

本发明公开了一种开盖装置，用于开启设备的盖板，包括驱动装置、减速装置和执行机构，驱动装置通过减速装置驱动执行机构转动，可将盖板打开。减速装置包括蜗杆、蜗轮及齿轮组，驱动装置可以是电机，也可以人工驱动。可通过驱动装置调整和控制开盖速度，通过蜗杆、蜗轮实现大速比减速，并避免反向传递运动。结构简单、便于操作、开盖速度可调整、开盖安全稳定。尤其适用于开启或关闭半导体加工设备的平台腔室盖板，也可以适用于开启或关闭其它的设备盖板。

主权项

1、一种开盖装置，用于开启或关闭设备的盖板，其特征在于，包括驱动装置、减速装置和执行机构；所述的执行机构包括连杆和扇形齿轮，扇形齿轮与设备的机架铰接，连杆的一端与设备的机架铰接，另一端与盖板固定连接；所述的减速装置包括蜗杆、蜗轮，所述蜗轮与扇形齿轮啮合；所述驱动装置与蜗杆连接，能通过减速装置驱动执行机构的扇形齿轮带动连杆一同转动，开启或关闭设备的盖板。