用于转移侧对接式测试机械手中测试盘的方法

摘要

本发明涉及一种用于转移侧对接式测试机械手中测试盘的方法，根据本发明的方法，将加载后测试盘的姿势改变为垂直姿势，并将测试盘转移到测试腔室，将垂直姿势的三个测试盘竖直排列在三行上，从而加载在三个测试盘上的半导体器件能够被同时测试，因此增加了同一时间可以测试的半导体器件的数量。

主权项

1、一种用于转移侧对接式测试机械手中测试盘的方法，该方法包括步骤：(a)在测试盘装载半导体器件后，将水平姿势的测试盘从加载单元经由保温腔室转移到测试腔室，其中在转移时在某点将测试盘的水平姿势改变为垂直姿势；(b)将步骤(a)中顺序转移到测试腔室的三个测试盘竖直排列到三行上；(c)将步骤(b)中竖直排列到三行上的三个测试盘转移到测试位置；(d)在对加载在三个测试盘上的半导体器件测试完成后，将三个测试盘中的每一个从测试腔室经由常温腔室转移到卸载单元，其中在转移时在某点将测试盘的垂直姿势改变为水平姿势；及(e)将步骤(d)中转移到卸载单元的每个测试盘上的半导体器件卸载后，将所述测试盘转移到加载单元。