蚀刻步骤期间对电极的正确钻蚀的测试

摘要

描述衬底上的探针电极结构，该探针电极结构包括在一个层序列上的第一探针电极和相邻的第二探针电极，所述层序列在从所述衬底到探针电极的方向上通常包括导电底层、电绝缘中心层和导电顶层。本发明的探针电极结构提供了一种在蚀刻步骤中对第一探针电极的钻蚀进行检测的装置，所述蚀刻步骤意在从第一探针电极之外的区域去除顶层。与第一电极的第一边沿相距超过可容许的距离的钻蚀将去除第一探针开口中的第一顶层探针部分，这导致第一探针电极和第二探针电极之间的可检测到的电阻的变化。

主权项

1. 一种衬底(101)上的探针电极结构(100，300，400)，其包括在一个层序列(106)上的第一探针电极(102)和相邻的第二探针电极(104)，所述层序列(106)在从所述衬底到探针电极的方向上总体上包括导电底层(108)、电绝缘中心层(110)和导电顶层(112)，其中中心层(110)具有各自的第一接触开口(114)和第二接触开口(116)，其中在一侧上的第一探针电极或第二探针电极和另一侧上的底层(108)的各自的第一底层部分(118)或第二底层部分(120)之间分别布置有顶层(112)；中心层(110)还具有第一探针开口(126)，该第一探针开口被布置在第二底层部分(120)上，但是在第一探针电极(102)的第一边沿(124)和第一接触开口(114)的第一边沿之间的第一探针电极(102)之下；顶层(112)将彼此电绝缘的第一底层部分(118)和第二底层部分(120)电连接起来；并且，其中顶层(112)具有第一探针开口(126)中的第一顶层探针部分(132)，所述第一顶层探针部分被布置在第二底层部分(120)上的第一探针电极(102)之下。