一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管及其制备方法

摘要

本发明公开了一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管及其制备方法。该异质pn结二极管至少包括pn结、衬底和欧姆接触电极，pn结是在n型氧化锌薄膜上镀有p型氧化镍薄膜的异质pn结；衬底为镀有n型GaN的蓝宝石。其制备方法是首先用射频磁控溅射工艺在衬底上制备n型ZnO薄膜层；然后在n型ZnO薄膜层上溅射p型NiO薄膜层形成异质pn结；最后采用溅射法或热蒸发法制作pn结电极；NiO表面溅射金电极或铂电极或镍铂电极或ITO电极，在GaN或在ZnO边缘镀上铟电极或铝电极或金电极；电极通过后退火合金化形成欧姆接触。这种异质pn结二极管具有较好的电致紫外激射发光特性，发光峰值波长在375nm左右，且制备工艺简单、成本低廉。

主权项

1、一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管，至少包括pn结、衬底和欧姆接触电极，其特征在于：pn结是在n型氧化锌薄膜上镀有p型氧化镍薄膜的异质pn结；衬底为生长在蓝宝石上的n型氮化镓。