| 发明名称 |
OPTICAL ELEMENT, EXPOSURE UNIT UTILIZING THE SAME AND PROCESS FOR DEVICE PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2087510(A1) |
申请公布日期 |
2009.08.12 |
| 申请号 |
EP20070829707 |
申请日期 |
2007.10.12 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
SHIRAISHI, MASAYUKI;MURAKAMI, KATSUHIKO |
| 分类号 |
H01L21/027;G02B5/08;G03F7/20;G21K1/06 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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