电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置

摘要

本发明所述的电感耦合线圈由两组渐开线线圈嵌套而成，渐开线线圈可以为一段渐开线。还可以由渐开线形状的内线圈与外线圈串联组成；且两组渐开线线圈形状相同，中心对称布置。完全对称的平面线圈结构的设计使得电磁场在反应腔室内部的分布很对称，从而改善了等离子体在反应腔室内部的分布均匀性，从而使得在晶片表面上各点的刻蚀速率更加相近。采用了这种结构的电感耦合等离子体装置减小了电感耦合线圈的电感，从而可以很容易的获得大面积的等离子体和改善大面积工艺中等离子体的均匀性。即使随着晶片尺寸的增大，该技术方案也能很好的控制从晶片到边缘的刻蚀速率和均匀性。从而使得在晶片表面上各点的刻蚀速率更加相近。提高刻蚀晶片的质量。

主权项

1、一种电感耦合线圈，其特征在于，由两组渐开线线圈嵌套而成，渐开线线圈的两对端点分别为输入端或输出端；所述两组渐开线线圈形状相同，中心对称布置，每组渐开线线圈分别由内线圈与外线圈组成，所述内线圈与外线圈分别为渐开线形状，所述内线圈的外端点与外线圈的内端点通过连接线圈串联。