组合式气体分配盘装置

摘要

本发明的目的在于提供一种组合式气体分配盘装置，通过该组合式气体分配盘装置，可获得非常优异的反应性，并实现气体浓度的稳定化，并且可以维持现有的分配盘的原有形状。为此，本发明中，分配盘体(2)至少由形成主要流路(R2)的用于主要流路的块状体(32)与形成分支流路(R1)的用于分支流路的块状体(31)所构成，配置该用于分支流路的块状体(31)，配以使其以该用于主要流路的块状体(32)为中心沿左右两侧彼此面对。

主权项

1. 一种组合式气体分配盘装置，包含：多个分支流路，途中设有阀或质量流量控制器等气体控制设备，可控制流经内部的气体；主要流路，来自所述多个分支流路的气体流入其中并汇流；及歧管型分配盘体，通过组装多个块状体，在其内部形成所述分支流路及主要流路；所述组合式气体分配盘装置的特征在于，所述分配盘体包含：用于主要流路的块状体，形成所述主要流路；及用于分支流路的块状体，配置成以所述用于主要流路的块状体为中心而彼此面对，形成所述分支流路。