| 发明名称 | 具有改进的分隔板的对式镀膜装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有改进的分隔板的对式镀膜装置，其用于为基底镀膜，包括至少两个彼此相邻布置的处理室(1、2、3、4)，两个相邻的处理室之间的分隔板(9)，和用于为处理室抽真空的泵装置(12、13)其中分隔板(9)包括至少具有两个端口的导管，其中的一端连接到泵装置，并且另一端具有用于至少一个处理室的至少一个抽气口。 | ||
| 申请公布号 | CN101503795A | 申请公布日期 | 2009.08.12 |
| 申请号 | CN200910005136.0 | 申请日期 | 2009.02.01 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 汉斯·沃尔夫;奥利弗·海梅尔;乔治·克尔帕尔-海斯;弗兰克·弗彻斯 |
| 分类号 | C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王安武;南 霆 |
| 主权项 | 1. 一种用于为基底镀膜的镀膜装置包括：至少两个彼此相邻布置的处理室，两个相邻的所述处理室之间的分隔板，以及用于为所述处理室抽真空的泵装置，其中所述分隔板包括导管，其具有至少两端，其中的一端连接到所述泵装置，并且另一端具有用于两个所述处理室的至少一个抽气口，并且其中所述分隔板被所述导管加强。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||