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发明名称
摘要
申请公布号 JP4313109(B2) 申请公布日期 2009.08.12
申请号 JP20030205423 申请日期 2003.08.01
申请人 发明人
分类号 B30B15/02;B30B15/06;B29C59/02;B30B1/18;B30B12/00;B30B15/34;H01L21/027 主分类号 B30B15/02
代理机构 代理人
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