测量起泡源内前驱物含量的方法

摘要

本发明揭示一种测定起泡器内前驱物的填充水平的方法。该起泡器是通过蒸气传送系统与一基板处理腔室流体耦合。用已知剂量的回填气体来回填该起泡器及蒸气传送系统。测定回填气体的压力及温度，好通过应用气体定律来测定起泡器及蒸气传送系统中回填气体的总体积。测定(1)起泡器及蒸气传送系统的总体积与(2)所测定的回填气体的总体积之间的差值作为起泡器中前驱物的填充水平。

主权项

1. 一种测量起泡器中的前驱物的填充水平的方法，其中该起泡器通过蒸气传送系统与基板处理腔室流体耦合，该方法包含：用已知剂量的回填气体来回填该起泡器及蒸气传送系统；测定该回填气体的压力及温度；通过应用气体定律，由(1)所测定的压力、(2)所测定的温度及(3)该已知剂量，来测定在该起泡器及蒸气传送系统中该回填气体的总体积；及测定(1)该起泡器及蒸气传送系统的总体积与(2)所测定的回填气体的总体积之间的差值，作为该起泡器中该前驱物的填充水平。