| 发明名称 | 隔板（带贯通孔） | ||
| 摘要 | 1.本产品用于等离子体处理装置，是具有贯通孔的隔板。2.后视图、仰视图和左视图分别与主视图、俯视图和右视图对称，故省略后视图、仰视图和左视图。3.参考主视图是为了说明贯通孔的大小关系，其中，A为内侧孔，B为外侧孔。4.使用状态参考图中的C部分是本产品。 | ||
| 申请公布号 | CN300980049D | 申请公布日期 | 2009.08.12 |
| 申请号 | CN200830113684.1 | 申请日期 | 2008.03.27 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 山崎幸一;石塚修一;高桥哲朗 |
| 分类号 | 15-99 | 主分类号 | 15-99 |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | |||
| 地址 | 日本东京都 | ||