| 发明名称 | 太阳电池等离子刻蚀模具的加压系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种太阳电池等离子刻蚀模具的加压系统，属于太阳电池刻蚀设备技术领域，包括底板、盖板、加压装置，所述加压装置包括一对立柱、加压条、螺栓、数控扭力扳手，加压条水平设置在立柱的上端，加压条中间开设有与螺栓相配合的螺孔，且螺孔中心线垂直于加压条；所述盖板的中心开设有容纳槽；数控扭力扳手与螺栓相配合。本实用新型可精确控制整叠硅片的压力，产品性能一致，成品率高。 | ||
| 申请公布号 | CN201289860Y | 申请公布日期 | 2009.08.12 |
| 申请号 | CN200820168515.2 | 申请日期 | 2008.11.20 |
| 申请人 | 浙江向日葵光能科技有限公司 | 发明人 | 俞相明;周晓兵 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 绍兴市越兴专利事务所 | 代理人 | 蒋卫东 |
| 主权项 | 1、一种太阳电池等离子刻蚀模具的加压系统，包括底板(1)、盖板(2)、加压装置，其特征在于：所述加压装置包括一对立柱(3a、3b)、加压条(4)、螺栓(5)、数控扭力扳手(6)，加压条(4)水平设置在立柱(3a、3b)的上端，加压条(4)中间开设有与螺栓(5)相配合的螺孔(7)，且螺孔(7)中心线垂直于加压条(4)；所述盖板(2)的中心开设有容纳槽(2a)；数控扭力扳手(6)与螺栓(5)相配合。 | ||
| 地址 | 312071浙江省绍兴市袍江开发区三江路 | ||