基板搬送装置及基板搬送方法

摘要

本发明提供一种基板搬送装置及基板搬送方法，其能够在短时间内高效率且高精度地搬送和检查基板并且减小基板搬送装置的设置面积。上述基板搬送装置包括：浮起台(3)，其使基板(2)浮起；导轨(4)，其在基板(2)的搬送方向(箭头D)上呈一条直线状地延伸；以及多个基板搬送部(5、6)，它们能够沿着该导轨(4)彼此独立地移动，多个基板搬送部构成为包括：第一基板搬送部(5)，其接收搬送至搬送方向(箭头D)的上游侧的基板(2)，并且将该接收的基板(2)向搬送方向(箭头D)的下游侧搬送；和第二基板搬送部(6)，其从该第一基板搬送部(5)接收基板(2)，并且将该接收的基板(2)向搬送方向(箭头D)的下游侧搬送。

主权项

1. 一种基板搬送装置，其特征在于，上述基板搬送装置包括：浮起台，其使基板浮起；导轨，其在上述基板的搬送方向上呈一条直线状地延伸；以及多个基板搬送部，它们能够沿着上述导轨彼此独立地移动，上述多个基板搬送部包括：第一基板搬送部，其接收搬送至上述搬送方向的上游侧的上述基板，并且将该接收的基板向上述搬送方向的下游侧搬送；和第二基板搬送部，其从上述第一基板搬送部接收上述基板，并且将该接收的基板向上述搬送方向的下游侧搬送。