| 发明名称 | 一种自动多次回流机的元件固定装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种自动多次回流机的元件固定装置，涉及半导体测试工艺。现有的回流机在运行时需要工作人员守在旁边等待换样品，如果看管不利，会造成器件掉出机台散落在地或者晶圆摔碎的情况，且经过回流温度曲线的晶圆需冷却一段时间才能将其拿起。本发明的自动多次回流机的元件固定装置，设于回流机的传送带上，其包括一用以放置半导体元件的笼子、一设于笼子底面且垂直于传送带的传送方向的转轴、以及设于传送带上的两对支撑架，一对卡在转轴的各卡口处，用以轴向定位所述转轴，另一对平行于传送带的传送方向设置于笼子底面，使笼子的平面与传送带平行。本发明可解决半导体元件在回流过程中的散落问题，并自动完成回流过程。 | ||
| 申请公布号 | CN100527355C | 申请公布日期 | 2009.08.12 |
| 申请号 | CN200710036722.2 | 申请日期 | 2007.01.23 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 卢秋明;马瑾怡 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 王 洁 |
| 主权项 | 1、一种自动多次回流机的元件固定装置，设于回流机的传送带上，其特征在于，所述固定装置包括：一笼子，用以放置半导体元件；一转轴，设于笼子底面且垂直于传送带的传送方向，转轴两端设有卡口；以及两对支撑架，设于所述传送带上，一对卡在转轴的各卡口处，用以轴向定位所述转轴，另一对平行于传送带的传送方向设置于笼子底面，使笼子的平面与传送带平行。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||