| 摘要 |
1. Способ нанесения покрытия, по меньшей мере, с одним металлическим слоем на полимерную подложку, в особенности на полимерную пленку для гибких печатных плат, причем перед нанесением первого слоя на поверхность полимерной подложки осуществляют предварительную обработку поверхности без нанесения покрытия, отличающийся тем, что предварительная обработка без нанесения покрытия включает в себя два этапа: ! очищение поверхности полимерной подложки (2) инертной низкоэнергетической плазмой (14); и ! активирование полимерной подложки (2) посредством реактивного высокоэнергетического ионного излучения (17). ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что плазма (14) имеет низкую плотность мощности, предпочтительно от 0,05 до 1 Вт/см2. ! 3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что в качестве инертной плазмы (14) используют ионизированный инертный газ. ! 4. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что плазму (14) генерируют тлеющим разрядом (13), приводимым в действие потенциалом от 0,1 до 1 кВ. ! 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионное излучение (17) имеет высокую плотность мощности, предпочтительно от 1 до 10 Вт/см2, более предпочтительно от 1 до 5 Вт/см2, особенно предпочтительно от 1 до 3 Вт/см2. ! 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что ионное излучение (17) генерируют ионным источником (16), приводимым в действие потенциалом, большим или равным 1 кВ, в частности от 1 до 3 кВ. ! 7. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве технологического газа для ионного источника (16) используют аргон. ! 8. Способ по п.1, отличающийся тем, что реакционную атмосферу ионного излучения (17) генерируют введением активного газа, содержащего кислород и/или азот. ! 9. Способ по п.6, отличающийся � |
