发明名称 Laser-Beschriftungsvorrichtung
摘要 Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Beschriftung insbesondere dünner Werkstücke, deren Spröde eine besondere Handhabung erfordert. Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet der Erfindung ist die Beschriftung von Wafern. Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, das Werkstück der Beschriftungsvorrichtung gegen Beschädigung gesichert so zuzuführen, dass die Beschriftung in normierbaren Bereichen erfolgt. Die Aufgabe wird gelöst durch eine Laser-Beschriftungsvorrichtung mit einem Beschriftungslaser, einer dem Beschriftungslaser nachgeschalteten Kontroll-Leseeinrichtung, einem Steuerrechner und einer Zuführeinrichtung, die ein wenigstens nahezu schlupffrei angetriebenes, auf der Werkstückseite einen niedrigen Reibungskoeffizienten aufweisendes Transportband umfasst, wobei das Werkstück vor der Beschriftung einer Positioniereinrichtung zugeführt wird.
申请公布号 DE102008000215(A1) 申请公布日期 2009.08.06
申请号 DE20081000215 申请日期 2008.02.01
申请人 DR. TESCHAUER AG 发明人 TESCHAUER, GERT;WEISBECK, MATTHIAS;KRAUSE, STEFFEN;GRUSSER, ROMAN;UHLIG, SEBASTIAN
分类号 H01L21/673;H01L23/544 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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