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发明名称
ÜR
摘要
申请公布号
DE602006007438(D1)
申请公布日期
2009.08.06
申请号
DE200660007438T
申请日期
2006.01.10
申请人
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE EPFL - STI - IMM - LMIS3
发明人
POPOVIC, RADIVOJE;XIAO, ZHEN
分类号
H01L31/101;H01L27/146
主分类号
H01L31/101
代理机构
代理人
主权项
地址
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