| 发明名称 | 氮化镓晶圆 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种氮化镓晶圆(11)，其具有实质上的圆形。氮化镓晶圆(11)包含：多个条纹区域(13)、多个单晶区域(15)和可目视确认的标记(17)。各条纹区域(13)，表示<11-20>轴的方向且在规定轴方向上延伸。各条纹区域(13)夹在单晶区域(15)之间。标记(17)设在该氮化镓晶圆(11)的表面(11a)及背面(11b)的至少任一面上，具有可识别的大小及形状。条纹区域(13)的错位密度较单晶区域(15)的错位密度大，且条纹区域(13)的结晶取向不同于单晶区域(15)的结晶取向。 | ||
| 申请公布号 | CN101499469A | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
| 申请号 | CN200910004049.3 | 申请日期 | 2006.03.16 |
| 申请人 | 住友电气工业株式会社 | 发明人 | 中山雅博 |
| 分类号 | H01L27/00(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 谢丽娜;关兆辉 |
| 主权项 | 1. 一种氮化镓晶圆，具有实质上的圆形，其特征在于，包含：多个条纹区域，表示<11-20>轴和<1-100>轴中的任一结晶轴的方向并在规定轴方向上延伸；多个单晶区域，其由该条纹区域相互间隔；和可目视确认的标记，其设在该氮化镓晶圆的表面及背面的至少任一面，所述条纹区域以及所述单晶区域显现在该氮化镓晶圆的表面，所述条纹区域的错位密度较所述单晶区域的错位密度大，所述条纹区域的结晶取向不同于所述单晶区域的结晶取向。 | ||
| 地址 | 日本大阪府大阪市 | ||