发明名称 非易失性存储器及其制造方法
摘要 本发明提供一种非易失性存储器,其包括二极管以及存储单元。二极管包括掺杂区、金属硅化物层与图案化掺杂半导体层。掺杂区配置于基底中,且掺杂区为第一导电型。金属硅化物层配置于基底上。而图案化掺杂半导体层配置于金属硅化物层上,且图案化掺杂半导体层为第二导电型。存储单元配置于基底上,并与二极管耦接。
申请公布号 CN101499482A 申请公布日期 2009.08.05
申请号 CN200810005503.2 申请日期 2008.02.03
申请人 力晶半导体股份有限公司 发明人 庄仁吉;黄丘宗;廖御杰
分类号 H01L27/24(2006.01)I;H01L29/861(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I 主分类号 H01L27/24(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1. 一种非易失性存储器,包括:二极管,包括:掺杂区,配置于基底中,且该掺杂区为第一导电类型;金属硅化物层,配置于该基底上;以及图案化掺杂半导体层,配置于该金属硅化物层上,且该图案化掺杂半导体层为第二导电类型;以及存储单元,配置于该基底上,该存储单元与该二极管耦接。
地址 中国台湾新竹科学工业园区