发明名称 | 一种LOADLOCK监控和自动复位系统及方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种LOADLOCK监控和自动复位系统及方法,该系统包括:设备主控制系统、机械手、光信号发射器、光信号接收器、数据分析判断模块和LOADLOCK,该设备主控制系统可发出信号使LOADLOCK及机械手开始运作;机械手将信号反馈给设备主控制系统;光信号发射器可接收设备主控制系统信号,发出一列光信号;光信号接收器可检测光信号发射器发来的光信号;数据分析判断模块可根据光信号接收器发来的数据进行处理和判断,并反馈到设备主控制系统;LOADLOCK可根据设备主控制系统给出的信号进行调整。该方法包括六个步骤。本发明可以检测LOADLOCK的位置偏差,防止在操作过程中硅片的划伤。 | ||
申请公布号 | CN100524116C | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
申请号 | CN200610118218.2 | 申请日期 | 2006.11.10 |
申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 沈坚 |
分类号 | G05B19/048(2006.01)I | 主分类号 | G05B19/048(2006.01)I |
代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁纪铁;李隽松 |
主权项 | 1、一种LOADLOCK监控和自动复位系统,其特征在于,包括:设备主控制系统、机械手、光信号发射器、光信号接收器、数据分析判断模块和LOADLOCK,其中,所述设备主控制系统,能够发出传动信号使所述LOADLOCK及机械手开始运作;所述机械手,能够将到位信号反馈给所述设备主控制系统;所述光信号发射器,能够接收所述设备主控制系统发出的机械手到位信号,发出一列光信号;所述光信号接收器,与光信号发射器同脉冲触发,能够检测所述光信号发射器发来的光信号,并将数据发送给所述数据分析判断模块;所述数据分析判断模块,能够根据所述光信号接收器发来的数据进行处理和判断,并反馈到所述设备主控制系统;所述LOADLOCK,能够根据所述设备主控制系统给出的指令进行对应的步进调整。 | ||
地址 | 201206上海市浦东新区川桥路1188号 |