| 发明名称 |
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| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2444292(B) |
申请公布日期 |
2009.08.05 |
| 申请号 |
GB20060023875 |
申请日期 |
2006.11.29 |
| 申请人 |
VISTEC LITHOGRAPHY LIMITED |
发明人 |
PHILIP CLIFFORD HOYLE;IAN LAIDLER |
| 分类号 |
H01J37/304;H01J37/28;H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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