发明名称 高偏振单偶极模的光子晶体微腔结构
摘要 本发明公开了一种高偏振单偶极模的光子晶体微腔结构,该结构采用准三维的光子晶体薄板结构,由形成于半导体材料薄板上的空气孔构成,该结构的中心为缺陷腔,与缺陷腔最邻近六个空气孔的半径小于其他空气孔的半径,该结构在半导体材料薄板平面的纵向(y方向)上进行了拉伸。利用本发明,能够获得高偏振的单偶极模,并且在工艺上也较为容易实现。
申请公布号 CN101499622A 申请公布日期 2009.08.05
申请号 CN200810057179.9 申请日期 2008.01.30
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 郑婉华;陈微;邢名欣;任刚;周文君;刘安金;陈良惠
分类号 H01S5/10(2006.01)I;H01S5/34(2006.01)I;H01S3/08(2006.01)I 主分类号 H01S5/10(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 周国城
主权项 1、一种高偏振单偶极模的光子晶体微腔结构,其特征在于,该结构采用准三维的光子晶体薄板结构,由形成于半导体材料薄板上的空气孔构成,该结构的中心为缺陷腔,与缺陷腔最邻近六个空气孔的半径小于其他空气孔的半径,该结构在半导体材料薄板平面的纵向进行了拉伸。
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