发明名称 非对称浮动栅极与非型快闪存储器
摘要 一种与非型(NAND)快闪存储器元件,包含覆盖在各个字线的非对称浮动栅极。透过此一特定浮动栅极与其各自的字线有效耦合,可使用一大的栅极(如字线)偏压将浮动栅极耦合到具有一电压,可将浮动栅极下方的沟道反向。在浮动栅极下方的反向沟道因此可以作为源极/漏极。因此,此存储器元件不需要一浅接面或一辅助栅极。再者,此存储器元件具有相对较低的浮动栅极至浮动栅极(FG-FG)干扰。
申请公布号 CN100524771C 申请公布日期 2009.08.05
申请号 CN200610093745.2 申请日期 2006.06.16
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 施彦豪;何家骅;吕函庭;赖二琨;谢光宇
分类号 H01L27/105(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;H01L21/8239(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 H01L27/105(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 王 英
主权项 1、一种存储器元件,包含:一衬底;复数个位于该衬底之上且与该衬底绝缘的字线;以及浮动栅极,非对称地覆盖各个字线,其中该浮动栅极也覆盖两个相邻字线之间的区域。
地址 中国台湾新竹科学工业园区