发明名称 | 促进电弧喷射涂层的涂覆和功能的部件特征设计 | ||
摘要 | 一种在溅射室工件上形成涂层的方法和装置。所述装置一般包括具有至少一个工件的溅射室。所述至少一个工件一般包括一个或者多个在其上形成的沟槽,所述沟槽被配置来定义电弧喷射涂层区域。所述方法一般包括在所述工件中形成一个或者多个沟槽,所述沟槽定义涂层区域并通过电弧喷射对所述涂层区域涂覆金属涂层。 | ||
申请公布号 | CN100523276C | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
申请号 | CN200310103855.9 | 申请日期 | 2003.11.12 |
申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 艾伦·巴里·刘;乾盛·邹;詹姆斯·宋 |
分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 杜 娟;肖善强 |
主权项 | 1. 一种溅射室,包括:至少一个其中形成有第一沟槽和第二沟槽的沉积环,所述第一和第二沟槽被配置来定义其上形成有涂层的电弧喷射涂层区域。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |