有机电致发光器件及其制造方法

摘要

本发明涉及有机电致发光器件及其制造方法。在玻璃基板上形成由ITO构成的空穴注入电极。在空穴注入电极上依次形成由CuPc(酞菁铜)构成的空穴注入层、采用等离子CVD法形成的由CF_x构成的等离子体薄膜、由NPB构成的空穴传输层及发光层。在发光层上形成电子传输层，在其上形成电子注入电极。

主权项

1、有机电致发光器件，其特征在于，依次具备空穴注入电极、空穴注入层、空穴传输层、发光层及电子注入电极，还具备经等离子处理形成于上述发光层侧的上述空穴注入层的表面的薄膜，上述薄膜设置在上述空穴注入层和上述空穴传输层之间，上述薄膜由选自碳系材料、硅系材料、碳化硅系材料和硫化镉系材料的非结晶性或结晶性的无机材料形成；上述薄膜的膜厚度在5以上50以下。