具弯曲连接部的曲状门构件

摘要

所述实施例提供一种可在处理室中将基板转移通道加以密封的装置。在一实施例中，用于在处理室中将基板转移通道加以密封的装置包括细长的门构件，该门构件具有凹入的密封面，该凹下的密封是通过可形变的连接部连接至致动器。该可形变的连接部是设置成允许该门构件可在相对于该杆臂的至少二平面移动。

主权项

1. 一种处理室，包括：处理室主体，其具有基板移送端口；门构件，其具有曲状密封力能够改变位置来选择性地密封该基板移送端口；杆臂；可形变的连接部，连接该杆臂至该门构件，该可形变的连接部设置成可允许该门构件相对于该杆臂横向移动，其中该可形变的连接部更包括：第一弹性衬套；及连接构件，其通过该第一弹性衬套、该门构件及该杆臂。