| 发明名称 | 薄膜样品介电性能测试台 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种薄膜样品介电性能测试台。包括测试台本体，所述测试台本体设有样品台，还包括探针和控制探针移动的机械臂，所述机械臂设于测试台本体上，机械臂与探针一端连接，探针另一端在样品台上。本实用新型有三个功能：机械臂可控制探针实现三维移动操作；加热棒的运用能在高温下对薄膜样品进行测试；与显微镜的组合能对尺寸极小的样品测试。 | ||
| 申请公布号 | CN201285416Y | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
| 申请号 | CN200820153372.8 | 申请日期 | 2008.09.23 |
| 申请人 | 同济大学 | 发明人 | 翟继卫;宋三年;胡丹 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01)I;G01R1/02(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 | 代理人 | 雷绍宁 |
| 主权项 | 1. 一种薄膜样品介电性能测试台，包括测试台本体，所述测试台本体中央设有样品台，其特征在于：还包括探针和控制探针移动的机械臂，所述机械臂设于测试台本体上，机械臂与探针一端连接，探针另一端在样品台上。 | ||
| 地址 | 200092上海市杨浦区四平路1239号 | ||