摆动式硅微陀螺仪

摘要

本发明涉及一种摆动式硅微陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，该下层玻璃衬底上布置信号引线以及键合点，陀螺仪上层机械结构由一对完全相同的子结构组成，该两个子结构沿Y轴对称设置，并分别与横梁连接，该横梁通过两组扭杆与下层玻璃衬底相键合，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。本发明采用扭杆和横梁，使陀螺仪绕z轴转动，实现陀螺仪的敏感运动，实现了驱动方向与检测方向的运动解耦；扭杆代替了敏感支承梁，减小了支承梁数目，降低了加工误差对陀螺性能的影响较小。

主权项

1、一种摆动式硅微陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底[5]上的信号引线，该下层玻璃衬底[5]上布置信号引线[108、208、109a、109b、209a、209b、110、210]以及键合点[4a、4b、111a、111b、211a、211b、112a、112b、112c、112d、212a、212b、212c、212d、113a、113b、213a、213b]，其特征在于：陀螺仪上层机械结构由一对完全相同的子结构[100、200]组成，该两个子结构[100、200]沿Y轴对称设置，并分别与横梁[3a、3b]连接，该横梁[3a、3b]通过两组扭杆与下层玻璃衬底[5]相键合，使上层的机械结构部分悬空在下层的玻璃衬底部分之上。