扫描束离子注入器的产量提高

摘要

一种用于最佳化生产率的离子注入系统，其包含：离子产生器，被配置成用于通过沿着第一方向上的轴线来扫描离子而将该离子注入至工件之中；可移动平台，被配置成用于在大体正交于该第一方向的第二方向上来移动该工件；离子检测组件，被配置成用于在大约该工件的外缘处来测量离子剂量；第一方向驱动器，从该控制器中接收命令，用于以在晶片上快速扫描速率或晶片外快速扫描速率来移动；以及第二方向驱动器，从该控制器中接收命令，用于以慢速扫描速率来移动该工件可移动平台。

主权项

1. 一种用于最佳化生产率的离子注入系统，包括：离子产生器，被配置成用于通过沿着第一方向上的轴线来扫描离子而将该离子注入至工件之中；可移动平台，被配置成用于在不同于该第一方向的第二方向上来移动该工件；以及第一方向驱动器，被配置成用于从控制器中接收命令，并且以一速率来移动该射束，该速率包括：晶片上快速扫描速率及晶片外快速扫描速率；其中，该晶片外快速扫描速率快于该晶片上快速扫描速率，并且依据该晶片在该第二方向上的位置来调整晶片外快速扫描速率与晶片上快速扫描速率之间的边界。