发明名称 Method and apparatus for implementing a universal coordinate system for metrology data
摘要
申请公布号 GB2456938(A) 申请公布日期 2009.08.05
申请号 GB20090006798 申请日期 2009.04.21
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC 发明人 VIJAY SANKARAN;ZHUQING ZONG;ANDREW DROZDA-FREEMAN;MICHAEL G MCINTYRE
分类号 G05B19/042;G05B19/418 主分类号 G05B19/042
代理机构 代理人
主权项
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