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发明名称
摘要
申请公布号 JP4306958(B2) 申请公布日期 2009.08.05
申请号 JP20000511181 申请日期 1998.09.03
申请人 发明人
分类号 C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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