发明名称 | 一种去除原生多晶硅棒端面石墨的方法 | ||
摘要 | 本发明一种去除原生多晶硅棒端面石墨的方法,属于多晶硅棒料加工技术领域,提供一种利用化学方法,方便、充分的去除硅棒端面石墨的方法,采用的方案为:先将多晶硅棒两端带有石墨夹头的原料敲下来,再将原料破碎成小块,然后将原生多晶硅两端带碳的原料进行热处理,再酸洗,然后水洗呈中性,最后烘干即可,上述热处理的方法为:将原生多晶硅两端带碳的原料装石英舟,在马弗炉里以8-15℃/min的升温速率加到880-920℃,恒温两小时,然后自然冷却;本发明广泛应用于批量加工多晶硅棒料中。 | ||
申请公布号 | CN101497440A | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
申请号 | CN200810080089.1 | 申请日期 | 2008.12.10 |
申请人 | 山西天能科技有限公司 | 发明人 | 秦海滨;任晓军;许家云;李金龙;靳权 |
分类号 | C01B33/021(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/021(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 1、一种去除原生多晶硅棒端面石墨夹头的方法,先将多晶硅棒两端带有石墨夹头的原料敲下来,再将原料破碎成小块,然后将原生多晶硅两端带碳的原料进行热处理,再酸洗,然后水洗呈中性,最后烘干即可;其特征在于上述热处理的方法为:将原生多晶硅两端带碳的原料装石英舟,在马弗炉里以8-15℃/min的升温速率加到880-920℃,恒温两小时,然后自然冷却。 | ||
地址 | 030032山西省太原市高新技术开发区中心街 |