衬底加热设备、加热方法以及半导体装置制造方法

摘要

本发明涉及衬底加热设备、加热方法以及半导体装置制造方法。本发明涉及一种具有加热衬底的传导加热器的衬底加热设备，其包括布置在传导加热器中并连接至丝极电源以产生热电子的丝极、以及使热电子在丝极和传导加热器之间加速的加速电源。丝极具有沿着与衬底同心的内圆以预定间隔形成的内周边部分、在与内圆同心且具有大于内圆的直径的外圆上以预定间隔形成的外周边部分、和通过连接各个内周边部分的端点与相对应的外周边部分的端点而形成的区域。

主权项

1. 一种包括传导加热器的衬底加热设备，所述传导加热器布置成与处于降低压力的容器中所保持的衬底相对并且加热所述衬底，所述衬底加热设备包括：布置在所述传导加热器中并连接至丝极电源以产生热电子的丝极；和使所述热电子在所述丝极和所述传导加热器之间加速的加速电源，其中所述丝极包括：沿着与所述衬底同心的内圆以预定间隔形成的内周边部分，在与所述内圆同心且具有大于所述内圆的直径的外圆上以预定间隔形成的外周边部分，和通过连接各个内周边部分的端点和相对应的外周边部分的端点而形成的区域。