| 发明名称 | 电感耦合线圈及电感耦合等离子体发生装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种电感耦合线圈及电感耦合等离子体发生装置，属于半导体加工制造领域。所述线圈包括至少一个多匝数的绕组，并在绕组的输出端串联接入一段电感，电感上具有一个可移动的电导体滑块，电感通过电导体滑块接地，用于改变线圈上的电流分布。所述装置由反应腔室、静电卡盘和电感耦合线圈组成，其中电感耦合线圈包括至少一个多匝数的绕组，并在绕组的输出端串联接入一段电感，电感上具有一个可移动的电导体滑块，电感通过电导体滑块接地，用于改变电感耦合线圈上的电流分布。本发明有效地改善了半导体加工中等离子体密度分布的均匀性。 | ||
| 申请公布号 | CN101500369A | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
| 申请号 | CN200810057125.2 | 申请日期 | 2008.01.30 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 张文雯 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市德权律师事务所 | 代理人 | 李 伟 |
| 主权项 | 1. 一种电感耦合线圈，其特征在于，所述线圈包括至少一个多匝数的绕组，并在所述绕组的输出端串联接入一段电感，所述电感上具有一个可移动的电导体滑块，所述电感通过所述电导体滑块接地，用于改变所述线圈上的电流分布。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 | ||