具有反向共面型镇流结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种反向共面型镇流结构的碳纳米管阴极平板显示器件及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；在阴极玻璃面板上有控制栅极，碳纳米管阴极以及反向共面型镇流结构；能够有效地控制流经碳纳米管阴极的电流，来进一步控制其场致发射能力，使其增多或减少发射电子的数量，对相对应的像素点亮度进行调整，实现整体显示图像亮度的均匀性，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种具有反向共面型镇流结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板[1]、阴极玻璃面板[16]和四周玻璃围框[21]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[17]以及制备在阳极导电层上的荧光粉层[19]；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构[20]以及消气剂附属元件[22]，其特征在于：在阴极玻璃面板上有控制栅极[14]，碳纳米管阴极[15]以及反向共面型镇流结构；所述的反向共面型镇流结构的衬底材料为玻璃，也就是阴极玻璃面板[1]；在阴极玻璃面板[1]上刻蚀后的二氧化硅层也就形成了阻塞层[2]；阻塞层的上面存在一个金属层，刻蚀后的金属层分为三部分，即门极引线层[3]，源极引线层[4]和漏极引线层[5]；门极引线层，源极引线层和漏极引线层是互不连通的；门极导电层的上面存在一个掺杂多晶硅层，刻蚀后的掺杂多晶硅层形成了门极层[6]；门极层[6]完全位于门极引线层[3]的上面，其余位置则不存在门极层；门极层呈现一种梯形形状，其长边位于下方，和门极引线层相接触；门极层[6]的上面存在一个二氧化硅绝缘层[7]，刻蚀后的二氧化硅绝缘层要完全覆盖住门极层[6]、门极引线层[3]以及门极层[6]和源极层[8]之间、门极层[6]和漏极层[9]之间的空余位置；刻蚀后的二氧化硅绝缘层[7]不能够覆盖源极引线层和漏极引线层；阴极玻璃面板上存在一个n型重掺杂硅层，刻蚀后的n型重掺杂硅层分为两部分，即源极层[8]和漏极层[9]；源极层[8]和漏极层[9]是互不连通的；源极层[8]位于源极引线层[4]的上面，漏极层位于漏极引线层[5]的上面；源极层[8]和漏极层[9]分别位于二氧化硅绝缘层[7]的两侧，且其上表面要高于二氧化硅绝缘层的上表面；阴极玻璃面板上存在一个n型掺杂硅层，刻蚀后的n型掺杂硅层要覆盖住源极层[8]、漏极层[9]和二氧化硅绝缘层[7]的上表面；n型掺杂硅层的上面存在一个二氧化硅保护层[11]，刻蚀后的二氧化硅保护层[11]要覆盖住源极引线层[4]、漏极引线层[5]和n型掺杂硅层[10]的表面；二氧化硅保护层的旁侧存在一个金属层，刻蚀后的金属层形成阴极引线层[12]；阴极引线层[12]和漏极引线层[5]是相互连通的；阴极引线层上面刻蚀后的二氧化硅层形成隔离层[13]；刻蚀后的隔离层的中间存在一个电子通道孔，暴露出底部的阴极引线层[12]；隔离层[13]的上面存在一个栅极层[14]；碳纳米管阴极[15]制备在电子通道孔中的阴极引线层上。