具有多重栅极集成控制阵列结构的平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种多重栅极集成控制阵列结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件，在阴极玻璃面板上有碳纳米管阴极以及多重栅极集成控制阵列结构；将栅极的控制功能和聚焦性能集于一身，有效地抑制了电子束发散，在将栅极-阴极结构集成到一起的同时还加强了栅极的控制效率和能力，有助于进一步提高整体器件的显示图像质量。具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

主权项

1、一种具有多重栅极集成控制阵列结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板[1]、阳极玻璃面板[9]和四周玻璃围框[14]所构成的密封真空腔；在阳极玻璃面板上有阳极导电层[10]以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层[12]；位于阴极玻璃面板和阳极玻璃面板之间的支撑墙结构[13]以及消气剂附属元件[15]，其特征在于：在阴极玻璃面板上有碳纳米管阴极[8]以及多重栅极集成控制阵列结构；所述的多重栅极集成控制阵列结构的衬底材料为玻璃，也就是阴极玻璃面板[1]；阴极玻璃面板上的刻蚀后的金属层形成阴极引线层[2]；阴极玻璃面板上的刻蚀后的二氧化硅层形成绝缘一层[3]；绝缘一层从纵向结构上看，其上表面是一个平面，下表面也是一个平面，和阴极引线层相接触，侧面是一个垂直于阴极玻璃面板的平面；绝缘一层上存在一个圆形孔，中间部分的二氧化硅层被刻蚀掉，暴露出底部的阴极引线层；绝缘一层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成绝缘二层[4]；绝缘二层从纵向结构上看，其上表面是一个平面，下表面也是一个平面，和绝缘一层相接触，侧面是一个流线弧形，向绝缘二层的内部凹陷，即靠近上表面的部分为一个类半圆型形状，然后弧线向下延伸，一直延伸到绝缘二层的下表面处为止；绝缘二层中的上下表面开口处都为一个与绝缘一层同心的圆形形状，但绝缘二层下表面开口处的直径比绝缘一层的圆形直径要大，在绝缘一层的上表面靠近侧面的边缘部分预留一个圆环型平台，而绝缘二层上表面开口处的直径比下表面开口处的直径要大；绝缘二层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成绝缘三层[5]；绝缘三层从纵向结构上看，其上表面是一个平面，下表面也是一个平面，和绝缘二层相接触，侧面也是一个流线弧形，向绝缘三层的内部凹陷，即靠近上表面的部分为一个类半圆型形状，然后弧线向下延伸，一直延伸到绝缘三层的下表面处为止；绝缘三层的上下表面开口处都为一个与绝缘一层同心的圆形形状，其下表面开口处的直径与绝缘二层上表面开口处的直径相同，不预留圆环型平台，其上表面开口处的直径比绝缘三层下表面开口处的直径要大；绝缘一层的上表面、绝缘二层的侧面、绝缘三层的侧面以及上表面上的刻蚀后的金属层形成栅极电极层[6]；绝缘一层的上表面、绝缘二层的侧面、绝缘三层的侧面以及上表面上的栅极电极层都是相互连通的；位于绝缘一层上面的栅极电极层大部分都位于绝缘一层的上表面上，其前端部分栅极电极层要伸向圆形孔的中心部位，呈现悬空状态；栅极电极层上面的刻蚀后的二氧化硅层形成栅极覆盖层[7]；栅极覆盖层[7]要覆盖住绝缘三层上表面以及侧面的栅极电极层，要覆盖住绝缘二层侧面的栅极电极层，但不得覆盖住绝缘一层上表面的栅极电极层；碳纳米管[8]制备在阴极引线层的上面。