| 发明名称 | 对准扫描验证模拟装置及其控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种光刻设备的对准扫描验证模拟装置及其控制方法，该装置包括：对准扫描验证模拟控制器、对准扫描控制器、对准扫描位置发生器、对准扫描位置信息采集器、对准扫描光辐射信息发生器、对准扫描光辐射信息采集器、对准扫描信号处理器，其中，对准扫描验证模拟控制器设置对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器的工作状态，使对准扫描位置信息采集器能够接收对准扫描位置信息发生器生成的对准扫描位置数据信息，使对准扫描光辐射信息采集器能够接收对准扫描光辐射信息发生器生成的对准扫描光辐射信息。 | ||
| 申请公布号 | CN101498898A | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
| 申请号 | CN200910047762.6 | 申请日期 | 2009.03.18 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 李焕炀;宋海军;徐荣伟 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈 蘅;李时云 |
| 主权项 | 1、一种光刻设备的对准扫描验证模拟装置，其特征在于，该装置包括：对准扫描验证模拟控制器、对准扫描控制器、对准扫描位置发生器、对准扫描位置信息采集器、对准扫描光辐射信息发生器、对准扫描光辐射信息采集器、对准扫描信号处理器，其中，对准扫描验证模拟控制器设置对准扫描位置信息采集器和对准扫描光辐射信息采集器的工作状态，使对准扫描位置信息采集器能够接收对准扫描位置信息发生器生成的对准扫描位置数据信息，使对准扫描光辐射信息采集器能够接收对准扫描光辐射信息发生器生成的对准扫描光辐射信息。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||