| 发明名称 | 电路结构及用以定义此电路结构的光掩模 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种电路结构及用以定义此电路结构的光掩模。此电路结构包括多个拾取垫与多条并列的导线，其中呈连续排列的部分导线各自配置有一拾取垫，且任一条配置拾取垫的导线的拾取垫穿过该导线一侧的一相邻导线的一断开处，而与次一导线连接。本发明的光掩模上有用以定义上述导线的多个导线图案，以及用以定义上述拾取垫的多个拾取垫定义用图案。本发明的H-切断结构中拾取垫周遭的图案密度近于密集区，其光学邻近效应较已知狗骨状设计容易控制；且因H-切断结构的对称性佳，因此光学邻近修正较易于实行。 | ||
| 申请公布号 | CN101499447A | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
| 申请号 | CN200810009293.4 | 申请日期 | 2008.02.03 |
| 申请人 | 力晶半导体股份有限公司 | 发明人 | 杜德洪;陈高惇 |
| 分类号 | H01L23/482(2006.01)I;H01L23/528(2006.01)I;G03F1/14(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/482(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 1、一种电路结构，包括多条并列的导线以及多个拾取垫，其中，呈连续排列的部分该些导线各自配置有一拾取垫；且任一条配置拾取垫的导线的该拾取垫穿过该导线一侧的一相邻导线的一断开处，而与次一导线连接。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业园区 | ||