| 发明名称 | 光波导 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种晶圆级光波导及其制造方法，利用半导体集成电路制造工艺，能够制造出接触面光滑、厚度均匀且端面为任意角度镜面的微米级光波导，同时大幅度降低制造成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101498814A | 申请公布日期 | 2009.08.05 |
| 申请号 | CN200910126378.5 | 申请日期 | 2007.09.25 |
| 申请人 | 晶方半导体科技（苏州）有限公司 | 发明人 | 邵鸣达;俞国庆;徐琴琴;王文龙;王蔚 |
| 分类号 | G02B6/10(2006.01)I;G02B6/12(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I | 主分类号 | G02B6/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘诚午;李 丽 |
| 主权项 | 1、一种光波导，包括基底和基底上的限制层，所述限制层中具有凹槽，凹槽两侧的端面为斜面，至少在所述斜面表面具有反射镜面层，在所述凹槽中包括芯层，在所述芯层的表面具有包层，所述包层仅位于芯层的上表面，所述芯层的下表面为反射镜面层。 | ||
| 地址 | 215126江苏省苏州市苏州工业园区星龙街428号苏春工业坊11B/C | ||