对准带电颗粒束列的方法与装置

摘要

本发明提供了用于在第一方向中自动对准带电颗粒束与孔的方法。从而，束被偏转向孔的两个边缘。从获得消光所需的信号计算一校正偏转场。进而，提供了用于自动对准带电颗粒束与光轴的方法。从而引入散焦，且基于引入的图象移动计算的一信号施加到偏转单元。进而，提供了散光校正的方法。从而在改变到象散校正装置的信号时，对于测量的帧的一个顺序估计清晰度。

主权项

1. 一种用于在第一方向中自动对准带电颗粒束与一孔的方法，包括步骤：a)向第一枪对准偏转单元施加第一偏转场，直到获得在所述孔的第一边缘处所述束的消光，b)测量获得所述消光所需的提供给所述第一枪对准偏转单元的第一信号；c)向所述第一枪对准偏转单元施加第二偏转场，直到获得在所述孔的第二边缘处所述束的进一步的消光；d)测量获得所述进一步消光所需的提供给所述第一枪对准偏转单元的第二信号；e)使用所述第一和第二信号计算所述束对于所述孔的中心位置；f)向所述第一枪对准偏转单元提供校正偏转场，以导向所述带电颗粒束通过所述孔的中心位置。