使激光束扩展而不扩展空间相干性的系统和方法

摘要

一种扩展激光束发射的光，而不改变空间相干性，或不产生散斑的系统和方法。本系统包括激光光源和有多路复用装置的光学投影系统。该多路复用装置把激光光源发射的光，扩展成多束光强大致彼此相等的光束，而不改变空间相干性。该多路复用装置有多个空间上分离的光束分束器，平行于反射镜放置，并在反射镜的同一侧。本系统还包括照明光学系统和投影光学系统，该照明光学系统会聚该多束光束的每一束，该投影光学系统把被照明光学系统输出光照明的掩模的图像，投射在基片上。

主权项

1. 一种光学投影系统，包括激光光源；多路复用装置，用于把所述激光光源发射的光，扩展成多束强度基本上彼此相等的光束，而不改变空间相干性，所述多路复用装置有多个空间上分离的光束分束器，平行于反射镜放置，并在反射镜的同一侧；照明光学系统，用于会聚所述多束光束中的每一束；和投影光学系统，用于把被所述照明光学系统输出光照明的掩模图像，投射在基片上；所述多路复用装置还包括另一个平行于所述反射镜的反射器，其中所述另一个反射器位于所述光束分束器中的一个与另一个之间。