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发明名称
摘要
申请公布号	JP4308277(B2)	申请公布日期	2009.08.05
申请号	JP20070028603	申请日期	2007.02.07
申请人		发明人
分类号	H01L29/423;C23C14/06;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/306;H01L21/338;H01L29/812	主分类号	H01L29/423
代理机构		代理人
主权项
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