定位式掩模

摘要

本发明提供一种定位式掩模，用以防止热膨胀变形，所述定位式掩模设于基板与沉积材料源之间，该掩模以金属薄板为主体，该金属薄板用以对应于该基板的一面，其中在该金属薄板上开设两个或两个以上供沉积材料通过的定位孔，且这些定位孔紧密排列形成定位区域，并在该定位区域的四周开设隔离槽，借以使该掩模用于进行蒸镀或溅镀时，减少定位区域位置的偏离及定位区域尺寸的变异。

主权项

1、一种定位式掩模，设置于基板与沉积材料源之间，其特征在于，所述掩模包含：金属薄板，在所述金属薄板上设有两个或两个以上供沉积材料通过的定位孔，所述定位孔紧密排列形成定位区域，并在所述定位区域的四周分别设有至少一个与所述定位区域相间隔且贯穿所述金属薄板以作为所述薄板产生热膨胀时的缓冲区域的隔离槽。