基板加工机的工件装卸器

摘要

本发明涉及工件装卸器，该装卸器设置于信息记录介质的盘基板及其它基板加工机中，得到用于搭载到加工时间短的基板加工机中的、能够在短时间内在加工位置将基板搬入搬出的装卸器。该装卸器具备：旋转工作台，其具有在以铅直方向的旋转轴为中心的同一圆周上等间隔地配置的至少3个保持台并绕旋转轴向一个方向间歇旋转；第1机械手，其将加工前基板从储料器向待机位置搬送；以及第2机械手，其将加工完基板从清理位置向储料器搬送。待机位置是保持台中的1个通过旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置时其旋转方向上游侧的保持台所处的位置，清理位置是保持台中的1个通过旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置时其旋转方向下游侧的保持台所处的位置。

主权项

1. 一种基板加工机的工件装卸器，其特征在于，所述工件装卸器具备：旋转工作台(28)，其具有在以铅直方向的旋转轴(27)为中心的同一圆周上等间隔地配置的至少3个保持台(30)，所述旋转工作台(28)绕所述旋转轴向一个方向间歇旋转；第1机械手(12a)，其将未加工基板从储料器(1)向待机位置(4)搬送；以及第2机械手(12b)，其将加工完基板从清理位置(6)向储料器(1)搬送；所述待机位置(4)是保持台中的1个通过所述旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置(5)时其旋转方向上游侧的保持台所处的位置，所述清理位置(6)是保持台中的1个通过所述旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置(5)时其旋转方向下游侧的保持台所处的位置，在所述清理位置，利用从配置于该位置的喷嘴喷出的喷射空气将基板表面的切削液和灰尘吹走来去除，并使附着在基板上的水分蒸发。