光刻机曝光成像装置

摘要

本发明公开了一种光刻机曝光成像装置，在光刻机曝光的光路上设置有下分束板，所述下分束板与光路呈45°夹角，且所述下分束板的反射面朝向被光刻器件的一侧；在经过所述下分束板反射后与光刻光路相垂直的光路上设置有下反射镜，所述下反射镜的法线与所述下分束板的法线相垂直，且所述下反射镜的反射面朝向所述下分束板一侧；在经过所述下反射镜反射之后的光路上设置有图像探测器。本发明光刻机曝光成像装置，通过在成像光路上设置下分束板、下反射镜和上分束板、上反射镜以及图像探测器，能够方便的对光刻机的曝光成像进行采集，大大的简化了图像采集测量的步骤，提高了生产效率。

主权项

1. 一种光刻机曝光成像装置，其特征在于，在光刻机曝光的光路上设置有下分束板，所述下分束板与光刻机曝光的光路呈45°夹角，且所述下分束板的反射面朝向被光刻器件的一侧；在经过所述下分束板反射后与光刻机曝光的光路相垂直的光路上设置有下反射镜，所述下反射镜的法线与所述下分束板的法线相平行，且所述下反射镜的反射面朝向所述下分束板一侧；在光刻机曝光的光路上设置有上分束板，所述上分束板与光刻机曝光的光路呈45°夹角，且所述上分束板的反射面朝向掩膜板一侧；在经过所述上分束板反射的光路上设置有上反射镜，所述上反射镜的法线与所述上分束板的法线相垂直，且所述上反射镜的反射面朝向所述上分束板一侧；一个图像探测器设置在经过所述上反射镜反射之后和经过所述下反射镜反射之后的光路上。